Tuotteemme

Tuotteemme

Greene Tweed -tiivisteet

Puolijohdeteollisuus valmistaa mm. piirilevyjä ja muita komponentteja, joiden valmistuksessa korostuvat äärimmäiset puhtausvaatimukset sekä erilaisten kemikaalien kesto.

Greene Tweed suunnittelee ja valmistaa komponentteja, materiaaleja ja ratkaisuja, jotka toimivat vaativimmissakin olosuhteissa. Greene Tweed tarjoaa tuotteet 160 vuoden kokemuksella olosuhteisiin, joissa laitteiden vikaantuminen ei ole vaihtoehto. Tuotteet on valmistettu kestämään äärimmäisiä lämpötiloja, painetta, kemiallista korroosiota ja mekaanista kulumista.

Tarjoamme korkealaatuiset tiivisteet, komposiitit ja liittimet erityisesti puolijohdeteollisuuden tarpeisiin, missä kemiallinen kestävyys, puhtaus ja lämpötilan sieto ovat kriittisiä.

Käyttökohteita ovat esimerkiksi:

  • ALD / CVD / etching / plasma-prosessit
  • Piikiekkojen käsittelylaitteet
  • Käsittelykammioiden tiivistys
  • Puhdastilan liitännät ja johdotukset
  • Korkean puhtauden ja alhaisen hiukkaspäästön ympäristöt

Tuotteet

Chemraz®

Chemraz®-FFKM-tiivisteitä on saatavissa O-renkaina, profiilitiivisteinä ja räätälöityinä tarvittavaan muotoon. Chemraz® korvaa perinteiset viton- ja kalrez-ratkaisut vaativissa kohteissa.

  • Täysin fluorattuja elastomeereja (FFKM)
  • Erinomainen kemikaalien ja korkean lämpötilan kesto
  • Sovellukset: CVD, ALD, etching, ashing, plasma prosessit

ONX® 600

ONX® 600 on tarkoitettu piikiekkojen käsittelyyn, ja se on valmistettu sähköä johtavasta komposiittista.

  • Korkean suorituskyvyn materiaali piikiekkojen käsittelyyn
  • Kestää staattista sähköä ja mekaanista kulutusta
  • Puhdastilaluokiteltu, ei hiukkasvuotoa

Seal-Connect®

Seal-Connect® on liitinratkaisu puhdastiloihin silloin, kun vaaditaan parasta.

  • Kuituoptiset ja sähköliittimet vaativiin ympäristöihin
  • ESD-suojaus ja tiivis rakenne
  • Yhteensopiva puolijohdelaitteiden standardien kanssa

Muut tuotteet

Meiltä saat myös muut Greene Tweedin komponentit ja materiaalit.

  • Arlon® PEEK ja Avalon® PTFE – termoplastit, jotka kestävät kemikaaleja ja lämpöä
  • Xyfluor® – kemiallisesti inertti ja erittäin puhdas materiaali
  • Räätälöidyt rakenteelliset komponentit prosessikammioihin ja käsittelylaitteisiin

Ota yhteyttä

Kerro meille tarpeesi, niin otamme sinuun yhteyttä ehdotuksen muodossa mahdollisimman pian! Voit myös pyytää esittelyä tai ehdottaa tapaamista.

Active Vacuum Oy